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光刻工艺

Contact Aligner 1:1
最小线宽：1um
对准精度：1um（顶部对准）& 2um（底部对准）
兼容4英寸和6英寸晶圆
Lift-Off

键合工艺

Si-Glass阳极键合
Si-Si直接键合
Glass-Si-Glass三层键合
Si-Glass-Si三层键合
金属共晶键合
热压键合
粘结剂键合

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